[摘要] 电视、电脑、车载导航，甚至一个不起眼的U盘……日常生活中使用的电子产品里都藏着一枚芯片，它也被叫做集成电路。作为新一代信息技术产业的核心，集成电路是支撑经济社会发展的战略性、基础性和先导性产业。与此同时，拓荆自主研发的原子层薄膜沉积系统设备也进入国内先进的集成电路制造厂商上海集成电路研发中心
电视、电脑、车载导航，甚至一个不起眼的U盘……日常生活中使用的电子产品里都藏着一枚芯片，它也被叫做集成电路。作为新一代信息技术产业的核心，集成电路是支撑经济社会发展的战略性、基础性和先导性产业。这其中，生产集成电路产品的装备是集成电路产业的基石，是推动集成电路技术创新的引擎。如今，在沈阳国家自主创新示范区的热土上，一批拥有“沈阳智慧”的集成电路装备生产企业，用他们的智慧结晶让中国的芯片制造摆脱进口，用上中国人自己的装备。
海归团队发力 关键设备技术持续突破
3月28日，在沈阳拓荆科技有限公司位于浑南区水家900号的新厂区，走进企业的超洁净工区内，穿戴隔离防护服的技术人员正在采用特殊化学方法，在硅晶片表面镀一层固态薄膜。拓荆公司的核心产品之一PECVD是芯片制造生产线上的关键设备之一，以前完全被少数发达国家垄断，在千人计划专家、海归博士姜谦等专家的带领下，拓荆仅用5年就实现了首台设备的投产应用，成为国内IC领域的PECVD设备供应商。
在姜谦的引领下，去年以来拓荆科技继续保持快速发展，其自主研发的十一五重大专项产品12英寸PECVD设备在北京中芯国际量产已突破百万片，这标志着我国自主研发的薄膜设备在线表现优异，可以取代进口设备，也标志着中国在“国芯崛起”的路上迈出了坚实的一步。与此同时，拓荆自主研发的原子层薄膜沉积系统设备也进入国内先进的集成电路制造厂商上海集成电路研发中心，应用于先进的14-10纳米研发线，这标志着我国已掌握了与国际并肩的ALD设备制造技术，预示着ALD设备将在芯片国产化的进程中扮演愈加重要的角色。
企业加速发展 产业集群效应凸显
“拓荆科技是沈阳集成电路产业整体发展的一个缩影，目前，沈阳已经聚集了一批优质的集成电路装备生产龙头企业，他们各具特色，并在国内集成电路产业崭露头角。”市科技局相关负责人介绍说，在沈阳，沈阳富创精密公司成为国内IC装备精密零组件全制程工艺解决方案提供商，形成了以铝合金零部件制造技术为核心，面向半导体和航空两大领域，成为中国精密、超精密制造的典范；沈阳中科仪的真空干泵已经在国内12英寸主流生产线上得到推广应用，实现了进口替代，成为国内能够为集成电路工艺设备制造厂商和FAB工厂批量生产真空干泵的厂家；沈阳芯原微电子的匀胶显影设备已经占领国内市场份额均超过60%，成为中国半导体生产线上的主力设备……
“集成电路装备生产制造业企业加速聚集的同时，沈阳拥有中科院自动化所等科研院所、高校的人才优势，是集成电路领域重要的装备产出基地。未来可以预见，集成电路装备产业将成为沈阳建设东北亚先进装备智能制造中心的一张亮丽新名片。”市科技局负责人介绍说，在集成电路装备制造方面，随着国内12英寸半导体薄膜设备生产基地、沈阳IC装备精密零部件公共制造平台等项目的相继落地，沈阳集成电路装备生产集群的效应将不断凸显，集成电路产业链条将不断完善，未来发展潜力无限。
政府有形之手 推动产业能级倍增
集成电路产业技术门槛高、投资大、垄断多，突破与追赶并不容易，需要政府“有形之手”聚合各方面的力量。近两年间，沈阳市相继出台政策支持集成电路产业发展，2017年年初，沈阳着手对2013年印发的《沈阳市人民政府关于加快推进IC装备产业发展的实施意见》进行修订，并对接市经信委出台的《沈阳集成电路装备及相关产业发展规划》，于12月24日以市政府名义发布了《沈阳市人民政府关于加快推进IC装备及相关产业发展的实施意见》，从科技创新、产业发展、环境营造、人才培育四个方面提出加快推进IC装备及相关产业发展的相关工作，进一步指导沈阳市集成电路装备及相关产业创新发展。
“下一步，沈阳将以国家集成电路装备高新技术产业化基地为支撑，突出沈阳集成电路产业集群发展，将壮大现有企业、引进上下游关联企业以及衍生产业发展作为发展方向，为沈阳装备制造业转型升级奠定坚实基础。”据介绍，根据沈阳市对集成电路及相关产业的规划，到2020年，沈阳集成电路产业发展规模将达到100亿元，其中整机装备制造达到30亿元、零部件及配套达到60亿元、材料达到10亿元。通过进一步做强集成电路装备本土龙头企业、并购国内外相关企业，持续拓展沈阳集成电路产业空间、打造产业高地，未来，沈阳将成为面向全球集成电路装备产业链的研发、生产和供应基地。
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